第三财经网 2025-03-27 21:40 1366
**真空零部件：半导体设备的幕后英雄**
在半导体干法设备的舞台上，真空系统扮演着不可或缺的角色，它由真空泵、阀门、测量仪器等核心组件构成，确保在无尘、高真空的环境中，利用等离子体精准加工晶圆。据估计，2023年全球真空零部件市场规模达55.9至83.8亿美元。其中，半导体真空泵主要由Atlas、Ebara和普发真空供应，而真空阀门则以VAT为市场领导者。
国内企业在这一领域尚处追赶阶段，但随着供应链安全考虑，国产替代趋势明显。真空泵、阀门和测量仪器等关键部件，正逐步迎来国产化机遇，为国内半导体产业的自主可控贡献力量。
**市场与应用：不可或缺的环节**
半导体制造涉及多种工艺，干法设备如等离子体刻蚀机、薄膜沉积机等离不开真空系统的支持。真空系统约占设备成本的20%至30%，在晶圆厂的日常维护中，真空类备件的采购亦占相当比例。2023年，全球设备厂和晶圆厂在这方面的支出预计分别在35.9至53.8亿美元和20至30亿美元之间。
**国产化挑战与机遇**
目前，美、日、欧洲企业主导着市场，但随着国内企业技术研发的推进，如中科仪等，国产真空零部件有望加速替代进口。尽管面临技术壁垒和国际贸易环境的不确定性，但国产化进程的加快，预示着国内半导体产业链的进一步完善。
简而言之，真空零部件是半导体制造的隐形支柱，国产化进程的加速将为行业带来新的增长点，同时也将提升国内半导体设备的整体竞争力。随着技术迭代和市场需求的演变，国产真空零部件的崛起值得期待。
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